在光伏与新能源材料产业技术升级浪潮中，青岛芯笙微纳电子科技有限公司凭借自主研发的S300系列气体质量流量计及配套解决方案，持续为化学气相沉积(CVD)、硅碳复合材料制备、锂电负极材料合成等关键工艺提供高可靠性气体测控支持。通过核心技术自主化与工艺场景深度适配，已助力多家行业客户实现产线良率提升与综合成本优化。
一、CVD硅碳负极制备核心设备的气体控制突破
在硅碳负极主流制备工艺中，芯笙微纳针对回转炉与流化床两类核心设备开发专项解决方案：
1.回转炉气体环境精密调控
在连续式回转炉硅碳沉积工艺中，S300系列通过以下创新保障硅烷(SiH₄)、乙炔(C₂H₂)、氮气(N₂)的精准配比：
- 多气体兼容性：流道表面经碳化硅涂层处理，耐受硅烷腐蚀性分解产物
- 动态响应优化：1秒内阶跃响应速度匹配回转炉周期性翻转工况
- 安全联锁机制：与炉内压力传感器联动，硅烷浓度超限时自动切断供气
2.流化床工艺气体稳定输送
针对流化床中气固两相流扰动难题，S300+P300压力控制器系统实现三重保障：
- 压力补偿控制：P300实时调整供气压力，抵消流化床压差波动(最小控制精度±0.24kPa)
- 乙炔安全控制：通过本安CT4防爆认证，在乙炔-氮气混合气体中连续运行超8000小时
二、关键反应气体的精准流量控制
针对硅碳负极制备中高风险工艺气体的特殊需求，青岛芯笙微纳建立专项技术壁垒：
硅烷(SiH₄)控制
- 泄漏防护：全金属密封结构+氦质谱检漏工艺，泄漏率<1×10 -12 Pa·m³/s He
- 快速截止：配备气动切断阀，响应时间<50ms
乙炔(C₂H₂)控制
- 防爆设计：通过本安CT4防爆认证
- 流量控制稳定性：S300系列，重复精度≤±0.2%F.S.
氮气(N₂)载气控制
- 大流量精度：S300系列MFC支持300SLM流量控制，精度±0.3%F.S.或1%S.P.
- 通讯协议：支持EtherCAT、Profibus、RS485等多种通讯
三、技术延伸与服务支撑
青岛芯笙微纳同步构建全流程服务体系：
- 气体适配性测试：开放青岛中心实验室提供硅烷/乙炔专项测试
- 旧设备改造方案：存量进口MFC替换周期缩短至7个工作日
- 应急响应机制：华东、华北、西南、华南区域4小时内技术工程师到场支持
四、行业技术交流
4月25日-27日，芯笙微纳将深度参与青岛CVD硅碳负极材料技术大会(展位A04)，构建“技术研讨-案例解析-产线实践”三维交流平台：
工艺气体控制专题研讨会(4月26日9:00)
- 特邀清华大学、中南大学、厦门大学、中科院、北京航空航天大学、哈工大等高校教授及硅碳负极材料产业链专家学者、企业及技术人员，共同探讨气相沉积硅基负极技术的发展现状、挑战与未来前景。
- 芯笙微纳首席科学家陶博士发布《针对硅碳负极材料的先进气体测控技术研究》
青岛芯笙产研基地开放日(4月26日-27日 全天)
- 参观半导体级洁净车间：S300系列全自动标定生产线。
- 材料沉积案例深度沟通：参与产线实践班的企业享年度优先技术服务配额。
编辑：沈露
审核：王明月
